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產品中心高精度電動平移臺系列壓電陶瓷納米臺HE-NM45壓電陶瓷納米臺標準線性平移臺 12~60μm
產品分類
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產品描述：
1、高速運動、直接驅動
2、設計小巧緊湊
3、閉環控制
4、可堆疊進行XY 運動
X 軸納米定位線性位移臺是基于壓電控制的線性位移臺，行程包括 12/30/45/60μm 及可定制其他行程版本。
HE-NM45 系列壓電納米位移臺采用高可靠多層低壓壓電疊堆陶瓷作為驅動元件，利用有限元優化的固態撓性導向系統可確保好的平移運動。平臺采用了無摩擦柔性機構，壓電位移臺無需維護，無磨損，并具有快速響應和快速穩定的性能，使其適用于動態過程，例如高頻誤差補償，跟蹤，快速步進或連續掃描等。閉環版本具有高分辨率應變片式位置傳感器，可實現高精度和可重復的運動，還可以補償壓電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環電橋設計。它可以在開環或閉環控制中運行。
壓電平臺固定是通過移動面和底板上的螺紋孔實現的。若要安裝到具有標準柵格的光學平臺或其他組件上，請使用轉接板轉接。在緊固過程中，應避免過大的彎矩載荷和作用在移動面與外殼之間的側向力，這些外力可能會損壞位移臺。
選配功能：可定制轉接工裝、可選PZT&Sensor 連接器及線纜長度、可選配閉環(SGS) 位置反饋系、可組維、可定制其他行程。
應用領域： 掃描顯微鏡、光纖端面檢測、干涉儀、測量技術、3D 錫膏檢測、光子、光纖定位、干涉、納米光刻、納米定位、電化學加。
產品參數：
| 規格型號 1 | HE-NM45-01 | HE-NM45-030 | HE-NM45-045 | HE-NM45-060 | 公差 8 |
| 運動軸 | X | X | X | X | - |
| 集成傳感器 | SGS | SGS | SGS | SGS | - |
| 標稱行程范圍 2（@0~+120V） | 12 μm | 30 μm | 45 μm | 60 μm | ±5% |
| 最大行程范圍 2（@-20~+150V） | 20 μm | 40 μm | 60 μm | 80 μm | ±20% |
| 分辨率 3 | 0.1 nm | 0.3 nm | 0.4 nm | 0.5 nm | typ. |
| 最小移動步長 4 | 0.4 nm | 1.0 nm | 1.5 nm | 2.0 nm | typ. |
| 線性誤cha | 0.02%~0.05% | 0.02%~0.05% | 0.02%~0.05% | 0.02%~0.05% | typ. |
| 重復定位精度（全行程） | 0.05% | 0.05% | 0.05% | 0.05% | typ. |
| 角擺偏差（俯仰/偏擺/滾轉） | 10 μrad | 10 μrad | 10 μrad | 10 μrad | typ. |
| 承載能力 5 | 50 N | 50 N | 50 N | 50 N | Max. |
| 諧振頻率（0g） | 3000 Hz | 2500 Hz | 2000 Hz | 1500 Hz | ±20% |
| 運動方向剛度 | 40 N/μm | 40 N/μm | 40 N/μm | 40 N/μm | ±20% |
| 運動方向推力/拉力 | 450N / 100N | 450N / 100N | 450N / 100N | 450N / 100N | ±20% |
| 驅動機構 | PZT | PZT | PZT | PZT | - |
| 工作溫度范圍 | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | -20~+80 ℃ | typ. |
| 線纜長度 6 | 1.5 m | 1.5 m | 1.5 m | 1.5 m | ±10mm |
| 中空尺寸 | - | - | - | - | - |
| 外形尺寸（長×寬×高） | 45 ×45 ×15 mm | 45 ×63 ×15 mm | 45 ×81 ×15 mm | 45 ×99 ×15 mm | - |
| 重量 7 | 65 g | 100 g | 150 g | 200 g | ±5% |
| PZT&Sensor 連接器 | LEMO | LEMO | LEMO | LEMO | - |
| 本體材質 | 鋁 | 鋁 | 鋁 | 鋁 | - |
注：所有規格參數基于室溫（22°C±3°C）測得，欲了解更多信息，請與我們聯系。表中“-"表示為不適用。
1.尾綴“-S"為閉環，內置位置傳感器。開環尾綴不帶"-S，無線性誤差、重復度數據。
2.最大驅動電壓為-20V~+150V，對于高可靠的長期使用，建議驅動電壓在0..+120V，更大行程請咨詢。出廠為標稱行程。
3.分辨率即定位噪聲。因為壓電陶瓷納米定位系統無摩擦，所以系統分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。通常使用RMS（1σ）值進行測量和指定。閉環分辨率為傳感器噪聲，驅動器電子噪聲和命令噪聲等的組合。
4.指通過干涉儀測得的壓電平臺可移動的最小步長值，它主要由壓電控制器的DAC分辨率決定。最佳情況下，參數表中為16-Bit對應的位移步長值。
5.軸向載荷，更高的負載請咨詢，注意超出標稱負荷會對柔性機構造成損壞。
6.更長的線纜長度請咨詢。
7.臺體重量不包括線纜及連接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值；typ.表示標準典型數據值，檢測報告中會給出實際的測量數據值。
產品尺寸：
公司郵箱： gaojingtek@126.com
服務熱線：
公司地址： 北京高精科技有限責任公司
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