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壓電陶瓷納米臺 XYZ平移臺HE-NMXYZ100

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13911985317

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產(chǎn)品參數(shù):

型號	HE-NMXYZ100
運(yùn)動軸	X. Y. Z
集成傳感器	SGS
標(biāo)稱行程范圍(@0~+120V)	100 μmx100 μm x 500 μm
zui大行程范圍(@-20~+150V)	110μm x 110 μm x 540 μm
分辨率	(XY) 3 nm、(Z) 14nm
最小移動步長	(XY) 3.5 nm、(Z) 17 nm
線性誤cha	0.05%
重復(fù)定位精度（全行程）	0.05%
角擺偏差(俯仰/偏擺/滾轉(zhuǎn))	20 μrad
承載能力	5N
諧振頻率	(XYZ) 300 Hz、260 Hz、250 Hz
運(yùn)動方向剛度	0.5 N/μm
運(yùn)動方向推力/拉力	20N/3N
驅(qū)動機(jī)構(gòu)	PZT
工作溫度范圍	-20~+80°℃
線纜長度	1.5m
中空尺寸	——
外形尺寸（長x寬×高）	90x 90x30mm
重量	390 g
PZT&Sensor連接器	LEMO
材質(zhì)	鋁鋼

產(chǎn)品尺寸：

壓電陶瓷納米臺 XYZ平移臺HE-NMXYZ100

高精科技有限責(zé)任公司是一家集光學(xué)、精密機(jī)械、自動化控制等技術(shù)于一體的高科技自主研發(fā)企業(yè)，一直服務(wù)于科研大專院校，根據(jù)不同客戶需求，研發(fā)配套軟硬件系統(tǒng)產(chǎn)品，涵蓋光學(xué)元器件、精密機(jī)械部件、自動控制、等大類通過長期的不懈努力、對光路搭建系統(tǒng)的工藝把控和對客戶的優(yōu)良服務(wù)，在科研、大專院校、機(jī)械自動化等諸多領(lǐng)域成長為廠商。公司的長焦鏡頭，自動化機(jī)械控制臺、手動控制臺、高亮度光源等產(chǎn)品，產(chǎn)品注重模塊化,集成化，已形成量產(chǎn)，規(guī)格全、提供長期穩(wěn)定的服務(wù)、同時(shí)提供定制服務(wù)。

目前主要產(chǎn)品：中空顯微掃描平臺中空轉(zhuǎn)臺直線電機(jī)平臺電動旋轉(zhuǎn)臺電動六維臺六維調(diào)節(jié)平臺六軸干涉儀調(diào)整架六軸鏡架手動升降臺角度調(diào)節(jié)臺方位調(diào)節(jié)臺電動升降臺三軸調(diào)節(jié)臺 XYZ調(diào)節(jié)臺光學(xué)平臺光學(xué)平板拉伸平臺傾斜臺高真空電動平臺真空平臺光學(xué)平臺面包板電動角位臺手動角位臺長工作距物鏡大數(shù)值孔徑物鏡。

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