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產品簡介| 型號 | HE-ZXZ50 | HE-ZXZ100 |
| 行程（mm） | 50 | 100 |
| 負載（kg） | 4 | 4 |
| 分辨率（um） | 0.1 | 0.1 |
| 最小步進量（um） | 0.3 | 0.3 |
| 單向重復定位精度/保證值（um） | ±0.5 or 1 | ±0.5 or 1 |
| 單向重復定位精度/典型值（um） | ±0.2 or 0.6 | ±0.3 or 0.6 |
| 雙向重復定位精度/保證值（um） | ±1 or 2 | ±1 or 2 |
| 雙向重復定位精度/典型值（um） | ±0.5 or 1 | ±0.5 or 1 |
| 定位精度/保證值（um） | ±2 or 4 | ±2 or 4 |
| 定位精度/典型值（um） | ±1 or 2 | ±1 or 2 |
| 最大速度（mm/s） | 100 | 100 |
| 直線度（um） | 10 | 10 |
| 平整度（um） | 10 | 10 |
| 偏擺 | 20 | 20 |
| 俯仰 | 20 | 20 |
| 持續推力（N） | 17.6 | 17.6 |
| 峰值推力（N） | 88 | 88 |
| 重量（kg） | 6.5 | 10.2 |
※ 備注
1：水平放置下的中心垂直負載。
2：最小運動增量不等同于分辨率，最小運動增量是指運動系統在連續、穩定情況下能夠移動的最小量。一般來說，系統分辨率遠小于最小運動增量。考慮傳動結構和編碼器對系統誤差的影響，直線電機位移臺與步進電機位移臺相比，其最小運動增量更加接近于分辨率。
3：精度測量數據是平臺在水平放置的情況下使用激光干涉儀測量的數據。
4：典型值和保證值的區別見技術指南。
5：最大速度為典型值，根據負載和控制器的不同會有區別。
產品詳情：
高精度、結構緊湊、集成靈活
直線電機垂直升降臺，專為需要高精度垂直定位的實驗室和工業應用而設計。升降臺采用直線電機驅動，具備高精度、高穩定性、低噪音等特點，結構緊湊，易于集成，提供多種行程和配置選擇，滿足多樣化的應用需求。
主要特點:
兩種配重方案，適應不同應用環境： 可選配恒力彈簧或氣缸配重，滿足不同負載和速度需求，保證運動平穩、一致性高。
強大軟件支持，輕松操控: 免費標準版 SDK，支持 Window、Linux 環境下多種開發語言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等)，方便用戶進行二次開發和系統集成。
高性能控制器，實現復雜運動: 控制器支持圓弧插補、直線插補、位置記憶和任意圖形導入，可滿足各種復雜運動控制需求。(選配）
靈活通訊，無縫連接: 可選配 EtherCAT 總線控制，實現高速、穩定的數據傳輸。
產品應用：
精密Z軸 Precision Z-axis、High-end Equipment、半導體檢測 Semiconductor Inspection、半導體切割 Semiconductor Cutting
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