白光干涉物鏡怎么選擇？

白光干涉儀目前在制造業(yè)應(yīng)用越來(lái)越廣泛，非接觸納米級(jí)檢測(cè)精度是絕大多數(shù)儀器所達(dá)不到的。

    白光干涉主要是在微小區(qū)域Z向檢測(cè)有很高的精度，而在二維分辨率上只能接近或者達(dá)到同等倍數(shù)顯微鏡的分辨率。不同倍數(shù)分辨率不同，視場(chǎng)大小也不同。

    如果需要檢測(cè)更大范圍的區(qū)域就需要使用到圖像拼接，也就是先檢查一個(gè)區(qū)域，然后移動(dòng)到下一個(gè)區(qū)域，最后合成一個(gè)大區(qū)域的三維輪廓。有的用戶希望能夠有超大視場(chǎng)范圍的干涉物鏡，甚至視場(chǎng)范圍可以達(dá)到幾十毫米，同時(shí)希望Z向也可以達(dá)到納米級(jí)。

    這是白光干涉檢測(cè)的一個(gè)誤區(qū)，如果檢測(cè)諸如芯片，往往需要放大幾十甚至幾百倍才能看清楚二維圖像，那么就需要使用高倍數(shù)的白光干涉物鏡。不但可以檢測(cè)到三維形貌，而且二維分辨率也很高。

    如果被檢測(cè)的產(chǎn)品，在二維尺寸上不需要特別高的分辨率，諸如微納臺(tái)階的檢測(cè)，就不需要特別高的二維圖像分辨率也可以。這種情況下，無(wú)論使用高倍數(shù)還是低倍數(shù)的干涉物鏡都可以。

    使用高倍數(shù)的物鏡，二維分辨率高，比如使用100X可達(dá)0.4微米，視場(chǎng)范圍80μm左右。如果是10X的物鏡，二維分辨率可達(dá)1.34μm，視場(chǎng)范圍max可達(dá)1.6mm。如果需要更大視場(chǎng)的干涉物鏡，那么倍數(shù)就需要更小，更小的倍數(shù)的鏡頭不但結(jié)構(gòu)體積上會(huì)有變化，價(jià)格也會(huì)成倍的變化，而且景深的加大也會(huì)對(duì)實(shí)際使用帶來(lái)不便。 

    追求更大視場(chǎng)是可以提高檢測(cè)效率，但是對(duì)圖像的二維細(xì)節(jié)表現(xiàn)就大打折扣，追求二維細(xì)節(jié)的三維精度那么就會(huì)犧牲檢測(cè)效率。因此上白光干涉物鏡的選擇是不能盲目追求大視場(chǎng)的。

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